广州潽拓光电科技有限公司——大阪涡轮分子泵

大阪涡轮（复合）分子泵:

仕　様型　号FR060D单相200V规格三相200V规格排气速度大1,000 L/min开放运转时800 L/min到達圧力通常1.0 Pa气镇时2.0 Pa极限压力大气压大水蒸气处理量※1500 g/hr连接形式吸气口KF（NW）40排气口KF（NW）40消费电力到达1.1 kW大1.3 kW电流11.1 A6.5 A润滑油量90 mL重量75kg电源电压50/60Hz単相, 200-240 V三相, 200-240 V容许电压变动※2±10%电源容量3.0 kVACP容量16A15A短路电流定额值（SCCR）1.0 kA控制型号D-sub 15Pin冷却方式空冷环境温度5-40℃※1 表示的是使用气镇时的处理量。※2 关于特殊规格，另行通知。

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大阪涡轮（复合）分子泵:前级配置

此类泵包括油扩散泵、油扩散喷射泵以及增扩泵等。在主泵允许的大排气口压力下，前级泵需将主泵产生的大气体量及时抽走，即前级泵的有效抽速必须满足：

Sq> pg .S/ pn或Qmax /pn

式中,Sq——前级泵的有效抽速，L/s，和选择高真空泵一样，先由Sq来确定前级泵的抽速，然后再根据该抽速选定泵型；

pn ——主泵前级的临界前级压力，Pa;

Qmax ——所能排出的大气体量，Pa .L/s;

pg ——主泵允许的高工作压力，Pa;

S——主泵工作在pg时的有效抽速，L/s。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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OSAKA TG1100FVAB分子泵维修

现在大部分涡轮分子泵转子都用油润滑轴承。因为这种轴承在转子的排气侧，所以油蒸汽不会到达涡轮分子泵的入口。油通过轴上开的倒锥孔上油润滑上、下轴承。在油循环的过程中，应能控制加速、减速、全速运转，转速降低运行或电源故障时的油量。

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卧式涡轮分子泵特点是其转子主轴水平布置。这种结构的分子泵是双轴流的，吸气口在两组抽气单元的中央，气体吸入后，分别被左右两侧的叶列组合抽走。轴承分别装在各抽气单元的排气侧